1.不能用這種方法除去物體表面的切削粉末，這點(diǎn)在清洗金屬表面油垢時(shí)表現(xiàn)尤為明顯。

2.實(shí)踐證明不能用它清楚很厚的油污，雖然用等離子體清洗少量附著在物體表面的油垢有很好的效果，但是對(duì)厚油垢的清除效果往往不佳，一方面用它清除油膜，必須延長處理時(shí)間，使清洗的成本大大提高，另一方面有可能是它在與厚油垢相互接觸的過程中，引發(fā)油垢分子結(jié)構(gòu)中的不飽和鍵發(fā)生了聚合，偶聯(lián)等復(fù)雜反應(yīng)而形成較堅(jiān)硬的樹脂化立體網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)有關(guān)。一旦形成這類樹脂膜他將很難被清除。因此通常只用等離子體清洗厚度在幾個(gè)微米以下的油污。

3.在應(yīng)用過程中還發(fā)現(xiàn)不能用等離子體清洗很好除去表面粘附的指紋，而指紋是玻璃光學(xué)元件上常出現(xiàn)的一種污染物。等離子體清洗也不完全不能用于出去指紋，但這需要延長處理時(shí)間，這時(shí)又不得不考慮到這是他會(huì)對(duì)基材的性能造成不良的影響。所以還需要采用其他清洗措施進(jìn)行預(yù)處理相配合。結(jié)果使清洗工藝過程復(fù)雜化。

4.由于等離子體清洗過程需要進(jìn)行真空處理，而且一般為在線或批量生產(chǎn)，因此在把等離子體清洗裝置引進(jìn)生產(chǎn)線時(shí)，必須考慮到被清洗工件的貯存和移送的問題，特別是當(dāng)被處理工件體積較大，數(shù)量較多更應(yīng)考慮到這個(gè)問題。