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技術(shù)交流

等離子清洗機(jī)幾種頻率區(qū)別與運用

發(fā)布時間:2018/11/2 8:58:25 | 信息來源:
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等離子清洗機(jī)的頻率有40KHZ,13.56MHz,2.45GHz這幾種,其中前面兩種較為常見,達(dá)因特作為專業(yè)生產(chǎn)等離子清洗機(jī)的廠家,為大家解析一下不同頻率等離子的應(yīng)用范圍:

40kHz,屬于中頻頻率,應(yīng)用于真空等離子清洗機(jī)大腔體,特點是等離子能量高,但是等離子密度小,無需匹配,成本較低。常規(guī)是5千瓦至20千瓦。射頻電源:頻率13.56Mhz,功率0-600W可調(diào),全自動真空電容匹配器。另可匹配中頻電源,頻率40KHz,功率0-5KW可調(diào)


13.56MHz,射頻,*常用的電源,特點是等離子能量低,但是等離子密度高。效果均勻,而成本稍高。常規(guī)是100瓦至1000瓦。一般應(yīng)用于常規(guī)的大氣等離子清洗機(jī)。

2.45GHz,微波,成本太高,目前應(yīng)用較少。

能夠做等離子體表面活化,等離子體蝕刻,等離子涂層(PCVD)各種各樣的材料和基板的所有方面的產(chǎn)業(yè)。許多客戶使用場外等離子清洗和蝕刻服務(wù)時,他們的生產(chǎn)超過他們的內(nèi)部能力,他們需要額外的幫助,以滿足*后期限。

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