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技術(shù)交流

問：發(fā)現(xiàn)試驗(yàn)效果不佳，怎么辦？

請(qǐng)檢查泵油是否變暗變臟，并及時(shí)更換。

問：如果設(shè)備買不起輝光怎么辦？

1. 射頻燈未能提供射頻；

2. 密封性可能存在漏氣問題。

問：如何檢查射頻燈的問題？

使用設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試燈管，將其放入主體，打開“RF”開關(guān)到“Hi”位置，并通過觀察燈的狀態(tài)來判斷RF燈的問題(在此過程中不需要真空)。

問：如何解決密封問題？

1. 確保使用的真空泵能夠達(dá)到或超過*小抽速1.4立方米每小時(shí)和極限負(fù)壓不大于200mTorr；

2. 然后檢查真空軟管、所有軟管卡箍和氣體進(jìn)氣管路連接件是否正確并擰緊，等離子清洗艙門是否正確關(guān)閉，門密封圈的地方是否清潔無(wú)缺陷。

問：是否有任何建議的清潔工藝參數(shù)？

答：射頻功率級(jí)應(yīng)設(shè)為中高檔。600-800mt壓力和1-3分鐘的加工時(shí)間是較好工藝參數(shù)的初始值。*佳工藝參數(shù)將取決于樣品材料和預(yù)期應(yīng)用。需要進(jìn)行一些實(shí)驗(yàn)來確定這些*佳值。

問：如何測(cè)量真空負(fù)壓值？

答：我們可以購(gòu)買相應(yīng)的測(cè)量設(shè)備，如真空監(jiān)測(cè)裝置或氣流混合器。

問：為什么泵油會(huì)回來？

答：如果配套泵是油泵，如果工藝完成后設(shè)備艙內(nèi)壓力沒有立即降低，油可能會(huì)從真空油泵回流，造成污染系統(tǒng)。我們建議使用具有防回燃功能的真空泵。

問：如何清洗真空腔內(nèi)壁？

答：真空室的內(nèi)壁、門和O形圈需要定期清洗。清洗方法請(qǐng)參照標(biāo)準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室玻璃器皿清洗方法，如浸泡在酒精、丙酮或異丙醇中或輕輕擦拭等離子室表面。