等離子體放電過程中產(chǎn)生臭氧的基本原理是含氧氣體在放電反應(yīng)器內(nèi)所形成的低溫等離子體氛圍中，一定能量的自由電子將氧分子分解成氧原子，之后通過三體碰撞反應(yīng)形成臭氧分子，同時也發(fā)生著臭氧的分解反應(yīng)。
臭氧，化學(xué)分子式為O3，又稱三原子氧、超氧，因其類似魚腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子攜帶一個氧原子組成，決定了它只是一種暫存狀態(tài)，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣進(jìn)入穩(wěn)定狀態(tài)，所以臭氧沒有二次污染。

如果我們通入的氣體中含有氧氣，那么在反應(yīng)過程中就會產(chǎn)生少量的臭氧，正是因為有臭氧的產(chǎn)生，所以我們在使用等離子技術(shù)針對電子元器件的防腐蝕涂層
對電子器件和組件提供有選擇性防腐蝕保護(hù)以應(yīng)對氣候的影響對于各類產(chǎn)品的可靠性至關(guān)重要。現(xiàn)代轎車上的所有缺陷，幾乎一半是由于氣候引起的老化和電子元器件發(fā)生的腐蝕損害而造成的。即便是在極端溫度條件下，對濕度、化學(xué)物質(zhì)和有害氣體進(jìn)行防護(hù)，是避免這樣的系統(tǒng)故障的必不可少的先決條件。

當(dāng)前，主要是通過油漆、樹脂或凝膠（硅）涂層來滿足這些要求。然而，這些工藝的應(yīng)用費力而又費時，在經(jīng)濟上和環(huán)保上都表現(xiàn)出局限性。通常使用的溶劑型涂層系統(tǒng)相對較厚且很難進(jìn)行涂層區(qū)域選擇。根據(jù)具體的保護(hù)涂層種類，可能還會出現(xiàn)如散熱不良、吸收水分、涂層脫落或傳感器信號衰減等缺陷。

而利用等離子技術(shù)，可有效沉積超薄、透明和絕緣的防老化等離子聚合涂層，并有選擇性的保護(hù)電子器件，特別是印刷電路板。該涂層高效的防護(hù)阻隔作用，不僅會延長產(chǎn)品的壽命、提高產(chǎn)品的安全性，還將顯著降低成本。等離子清洗機被廣泛使用的原因：

1、環(huán)保
等離子體起到作用的過程時氣到固體的相干式的，過程中不消耗水資源，也不需要添加化學(xué)藥劑，對于周圍的環(huán)境沒有污染。
2、廣泛性
使用等離子清洗機一般是不分處理對象的基本材料類型，都可以進(jìn)行處理，對于金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料，例如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺甚至是聚四氟乙烯等等都可以得到很好的處理，并且可以實現(xiàn)整體以及局部以及負(fù)責(zé)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行清洗處理。
3、功能性強
等離子清洗機不僅涉及道路高分子材料淺表面，可以在保持材料自身特性的同時，有賦予了一種或者多種的新功能。
4、溫度低
等離子清洗機接近常溫，特別適合用于高分子材料，比使用電暈已經(jīng)火焰的方法有很長的保存時間和比較的表面處理張力。
5、成本低
等離子處理裝置簡單，易于操作和維修，可以連續(xù)的運行，往往幾瓶的等離子氣體就可以代替數(shù)千公斤的清洗液，因此清洗的成本會大大的降低與濕法清洗。
6、全稱可控工藝
等離子清洗機幾乎所有的參數(shù)都可以由電腦設(shè)置和數(shù)據(jù)記錄，進(jìn)行質(zhì)量控制。
7、處理物的幾何形狀無限制

使用等等離子清洗機處理的物體，其或大或小，形狀簡單或者復(fù)雜，部件或紡織品都可以進(jìn)行處理。