等離子清洗機(jī)常見(jiàn)故障及其解決辦法
1、等離子清洗機(jī)不發(fā)光
? 可能原因：1真空泵是否正常運(yùn)行；2、射頻電源主板燒壞；
? 處理措施：1、真空泵是否正常工作，查看真空壓力表值是否達(dá)到正常壓力值；如不能達(dá)到正常壓強(qiáng)，則代表氣路有漏氣需重新檢查氣路是否固定好。
?2、打開(kāi)設(shè)備右側(cè)面板，檢查射頻電源主板綠色燈在設(shè)備正常運(yùn)行下是否亮，如果不亮，請(qǐng)聯(lián)系東信高科售后人員進(jìn)行更換。
2、真空泵不工作
? 可能原因：1、真空泵油不足；2、電機(jī)燒壞；3、真空泵磨損
? 處理措施：1、清洗后，添加真空泵油；2、請(qǐng)聯(lián)系我公司客服
3、清洗效果不良
? 可能原因：1、等離子功率不夠；2、選用不適合的反應(yīng)氣體
? 解決措施1、調(diào)節(jié)功率旋鈕，提高功率；2、工藝氣體是否匹配合理；3、咨詢我公司客服；
4、真空泵熱過(guò)載保護(hù)，請(qǐng)檢查線路和真空泵故障
? 出現(xiàn)此情況請(qǐng)首先觀察系統(tǒng)參數(shù)有無(wú)變化，設(shè)備突然斷電會(huì)引起系統(tǒng)參數(shù)歸零，導(dǎo)致設(shè)備出現(xiàn)此類報(bào)警。
? 如系統(tǒng)參數(shù)無(wú)變化，請(qǐng)確認(rèn)熱繼電器是否自動(dòng)保護(hù)，按復(fù)位鍵，然后啟動(dòng)真空發(fā)生系統(tǒng)。如沒(méi)有自動(dòng)保護(hù)，請(qǐng)檢查電氣線路有無(wú)斷路或短路情況。
? 檢查導(dǎo)線是否有斷路或短路情況。
? 如無(wú)上述異常，請(qǐng)檢查真空泵。
5、放空氣體壓力過(guò)低，請(qǐng)檢查氣體是否開(kāi)啟或氣體是否耗盡
? 如出現(xiàn)此類報(bào)警請(qǐng)檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無(wú)斷路或短路。
6、真空泵倒計(jì)時(shí)故障（機(jī)械故障），請(qǐng)檢查真空泵抽空能力，故障排除點(diǎn)擊復(fù)位鍵
? 所處理產(chǎn)品有嚴(yán)重滲氣情況，真空倒計(jì)時(shí)時(shí)間設(shè)備較短，無(wú)法在設(shè)備時(shí)間內(nèi)抽到背底真空。
? 檢查真空門是否關(guān)到位
? 逐級(jí)檢查真空系統(tǒng)中各連接點(diǎn)，看是否有管道連接不良或損壞
? 真空泵故障，需檢查保養(yǎng)真空泵。
7、真空計(jì)故障報(bào)警，真空計(jì)故障或損壞，請(qǐng)檢查并更換真空計(jì)
? 檢查真空計(jì)是否損壞，檢查真空計(jì)控制線路是否有斷路或短路。
8、急停未復(fù)位或已按下，請(qǐng)打開(kāi)急停開(kāi)關(guān)
? 檢查急停是否被按下，如沒(méi)有此情況，請(qǐng)檢查急停線路。
9、 CDA壓力過(guò)低報(bào)警（破空氣體壓力低）
? 此報(bào)警為壓縮空氣氣壓不足夠報(bào)警，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動(dòng)擋板閥（GDQ）的設(shè)備，出現(xiàn)此報(bào)警時(shí)需檢查CDA是否正常供氣至設(shè)備端。
? 確認(rèn)供氣壓力是否過(guò)高或過(guò)低，減壓表的報(bào)警值是否設(shè)定正確。
? 檢查電氣線路是否出現(xiàn)斷路或短路。

等離子清洗在行業(yè)的同比優(yōu)勢(shì)
一、清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個(gè)工藝流水線的處理效率；
二、等離子清洗使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問(wèn)題；
三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；
四、采用無(wú)線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過(guò)多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好；
五、使用等離子清洗，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；
六、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過(guò)程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；
七、使用等離子清洗，避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生；
八、等離子體清洗可以不分處理對(duì)象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等高聚物）都可以使用等離子體來(lái)處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗；
九、在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤(rùn)濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的

什么是等離子處理？
（1）等離子處理中存在大量從電場(chǎng)獲取能量的電子。
（2）等離子處理中的電子動(dòng)能轉(zhuǎn)化為空間電荷的電場(chǎng)和熱能。
（3）等離子處理邊界處存在電場(chǎng)較強(qiáng)的鞘層區(qū)域，帶電粒子在該區(qū)域內(nèi)將被加速。
（4）等離子處理中的中性原子和分子受到高能電子和離子的碰撞，會(huì)變成帶電的自由基粒子。
（5）等離子處理中的高能粒子與材料相互作用，導(dǎo)致材料表面發(fā)生濺射和蒸發(fā)，而釋放出相關(guān)組元的粒子。
（6）等離子處理產(chǎn)生過(guò)程中的高能輻射是由原子躍遷或與電磁場(chǎng)的相互作用產(chǎn)生的。