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技術(shù)交流

真空等離子清洗機化學(xué)反應(yīng)和物理作用相結(jié)合的過程

發(fā)布時間:2023/6/1 8:33:25 | 信息來源:
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真空等離子清洗機是一種有效、環(huán)保的表面清洗設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)療、航天等領(lǐng)域中。其清洗原理主要基于等離子體化學(xué)反應(yīng)和物理作用相結(jié)合的過程。


一、真空等離子清洗機的基本結(jié)構(gòu)


真空等離子清洗機主要由注入系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、反應(yīng)室及廢氣處理系統(tǒng)等組成。其中注入系統(tǒng)負責將清洗物料送到反應(yīng)室內(nèi)部,并注入待清洗氣體;真空系統(tǒng)負責維持反應(yīng)室內(nèi)部的真空度;等離子發(fā)生器負責產(chǎn)生等離子體,并激活清洗氣體;反應(yīng)室則是清洗反應(yīng)的關(guān)鍵部位,利用等離子體化學(xué)反應(yīng)和物理作用進行表面清洗;廢氣處理系統(tǒng)則主要負責回收和處理清洗產(chǎn)生的廢氣。


二、等離子體化學(xué)反應(yīng)的原理


等離子體是一種高能量帶電氣體狀態(tài),具有較高的離解度和反應(yīng)活性。當高能量電場作用于清洗氣體時,清洗氣分子中的電子被撞出,并與其他分子或原子發(fā)生碰撞,形成離子、自由基等高活性物質(zhì)。這些高活性的物質(zhì)具有強氧化還原能力,可以加速雜質(zhì)的去除、表面的去污以及鈍化處理。同時,通過調(diào)節(jié)清洗氣體、電場強度、反應(yīng)時間和溫度等參數(shù),可以實現(xiàn)不同材料表面的清洗效果。


三、物理作用的原理


等離子體在帶電的狀態(tài)下,會聚集在物體表面,并通過靜電吸引力使物質(zhì)與等離子體產(chǎn)生相互作用,實現(xiàn)清洗。物理作用主要包括以下幾種:


1.轟擊清洗法,即利用等離子體粒子的高動能對雜質(zhì)進行轟擊,將其從物體表面清洗出來。


2.消蝕清洗法,即利用等離子體中的高能離子打擊表面材料,實現(xiàn)深度清洗。


3.離子注入法,即利用等離子體中的離子對材料表面進行注入改性。


4.表面硬化法,即由等離子體引起的高速響應(yīng)熱震導(dǎo)致表面結(jié)構(gòu)的組織變化,增強表面的硬度和耐腐蝕性。


四、真空等離子清洗機的清洗優(yōu)勢


1.有效:真空等離子清洗機具有高能量、高反應(yīng)速度等特點,可快速清洗復(fù)雜表面上的污染物和粘附雜質(zhì)。


2.環(huán)保:清洗過程不含有任何有害化學(xué)藥品,對環(huán)境無污染。


3.安全:在清洗過程中,沒有明火、爆炸等安全隱患,操作更加穩(wěn)定與安全。


4.兼容性好:真空等離子清洗機可以適用于多種類型材料的清洗,如金屬、玻璃、塑料、陶瓷等。


5.表面質(zhì)量優(yōu)異:采用真空等離子清洗技術(shù)可以達到納米級別的清洗效果,使得清洗后的材料表面平整、光滑,光致反射率增強,提高其光電性能。同時,通過鈍化處理等措施,可以大幅減輕材料表面氧化、銹蝕等問題,延長使用壽命。
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