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技術(shù)交流

等離子處理機(jī)廢氣排放系統(tǒng)的方案

發(fā)布時間:2023/10/13 13:00:28 | 信息來源:
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大氣等離子處理機(jī)提供各種修改表面的方法


一、處理機(jī)對象經(jīng)等離子處理機(jī)之后是干燥的,可以提高整個工藝流水線的處理效率;


二、等離子處理機(jī)使得用戶可以遠(yuǎn)離有害溶劑對人體的傷害,同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題;


三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑,這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物,因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在全球高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性;


四、采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強(qiáng),這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù),因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好;


五、使用等離子處理機(jī),可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成,因此具有產(chǎn)率高的特點。


六、等離子處理機(jī)需要控制的真空度約為100Pa,這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高,加上清洗過程不需要使用價格較為昂貴的有機(jī)溶劑,這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝;


七、使用等離子處理機(jī),避免了對清洗液的運(yùn)輸、存儲、排放等處理措施,所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生;


八、等離子處理機(jī)可以不分處理對象,它可以處理各種各樣的材質(zhì),無論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物,還是高分子材料都可以使用等離子體來處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗;


九、在完成清洗去污的同時,還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能、改善膜的黏著力等,這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。大氣等離子處理機(jī)技術(shù)的特點:




1. 均勻度高。大氣等離子是輝光式的等離子幕,直接作用于材料表面,實驗證明,同一材料不同位置的處理均勻性很高,這一特性對于工業(yè)領(lǐng)域進(jìn)行下一環(huán)節(jié)的貼合、邦定、涂布、印刷等制程十分重要。



2. 效果可控。大氣等離子有三種效果模式可選。一是選用 氬氣/氧氣 組合,主要面向非金屬材料并且要求較高的表面親水效果時采用,比如玻璃,PET Film等。 二是選用 氬氣/氮氣 組合,主要面向各種金屬材料,如金線、銅線等。因氧氣的氧化作用,替換為此方案中的氮氣后,該問題可以得到有效控制。三是只采用氬氣的情況,只采用氬氣也可以實現(xiàn)表面改性,但是效果相對較弱。此為特殊情況,是少數(shù)工業(yè)客戶需要有限而均勻的表面改性時采用的方案。




3. 安全易用。大氣式等離子,也是低溫等離子,不會對材料表面造成損傷,例如對方阻值敏感的ITO Film材質(zhì)亦可處理。無電弧,無需真空腔體,也無需廢氣排放系統(tǒng),長時間使用并不會對操作人員造成身體損害。




4. 面積寬大。大氣等離子大可以處理2m寬的材料,可以滿足現(xiàn)有多數(shù)工業(yè)企業(yè)的需求。




5. 成本低廉。大氣等離子設(shè)備功耗低,運(yùn)行成本以氣體為主。以主要消耗氣體氬氣為例,同corona等離子氣體消耗量相比不足其1/20.一、等離子設(shè)備日常維護(hù)


(一) 等離子發(fā)生器的維護(hù)


定期清理等離子發(fā)生器內(nèi)部的外殼及排氣口灰塵。建議至少每月檢查一次;
定期更換等離子源體;
定期檢查掌握等離子發(fā)生器的加工系統(tǒng)參數(shù),確保其正常工作;
注意等離子源的調(diào)整,增大等離子體流量,經(jīng)常清洗導(dǎo)體;
(二)易損件維護(hù)


定期檢查并更換設(shè)備中的易損件,如膜片、密封圈、電極等,防止其損壞影響設(shè)備正常工作;
每半年對快門桿和氣壓控制進(jìn)行檢查和校準(zhǔn),避免出現(xiàn)誤差。
(三)其他維護(hù)注意事項


定期更換老化、損壞的電纜線;
定期校準(zhǔn)空氣壓力表和溫度計等,確保其精確度;
加油、更換機(jī)器油。
二、等離子設(shè)備故障排除


如果出現(xiàn)故障,需要先確定故障原因才能進(jìn)行修理。以下是常見故障排除方法:


(一)等離子體丟失或流量減少


檢查配合的真空泵是否正常開啟,系統(tǒng)管道是否漏氣。
檢查減壓閥門是否被堵塞;
檢查氧流量計、氣體流量計、陶瓷燃燒嘴等部件是否有損傷。
(二)設(shè)備火花分析效果差


先檢查離子發(fā)生器內(nèi)部是否有雜質(zhì);
調(diào)整電極間距,確認(rèn)裝置無松動現(xiàn)象;
更換發(fā)光信號紙片窯。

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